本发明涉及一种高感值硅基平面螺旋电感结构，属于半导体封装技术领域。其包括硅基平面螺旋电感（100）和薄膜硅帽（200），电感线圈（105a）下方依次为介电层Ⅰ（104）、磁性薄膜层Ⅰ（103）、钝化层（102）和硅基体（101），设置有磁性薄膜层Ⅱ（202）的薄膜硅帽（200）倒扣在硅基平面螺旋电感（100）上，两者通过粘合剂（301）连接，磁性薄膜层Ⅰ（103）和/或磁性薄膜层Ⅱ（202）分别设计成由若干个垂直电感线圈的磁性薄膜条组成。本发明的磁性薄膜层Ⅰ、磁性薄膜层Ⅱ和粘合剂，形成了从电感线圈中心到外部的完整磁回路，加上减小涡流损耗的设计，可以显著提高其电感值，并且利用晶圆级方式实现的工艺，其电感的尺寸可以更小、制造成本更低。