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一种锆钛酸钡钙无铅梯度厚膜的制备方法
编号:S000021158 刷新日期: 有效日期至:2020-12-20 浏览:2013 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 江苏 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:技术转让
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明公开了一种锆钛酸钡钙无铅梯度厚膜的制备方法,该锆钛酸钡钙的化学通式为:(1-x)Ba(Ti0.8Zr0.2)O3-x(Ba0.7Ca0.3)TiO3。应用溶胶凝胶法制备不同成分的锆钛酸钡钙溶胶,依次在Pt/Ti/SiO2衬底上通过旋涂法涂覆,制备BZT-xBCT梯度厚膜,经过热处理后得到无铅锆钛酸钡钙梯度厚膜。该方法简单可靠,工艺重复性好,可操作性强。本发明制备的锆钛酸钡钙无铅梯度厚膜无孔隙、无裂纹、均匀度一致,兼具薄膜与体材料的优点,可与半导体工艺兼容。
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