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> 技术详情
一种锆钛酸钡钙无铅梯度厚膜的制备方法
编号:S000021158
刷新日期:
有效日期至:
2020-12-20
浏览:
2257
次
对接邀请:
0
次
意向价格:
面议
所在区域:
中国 - 江苏
技术领域:
智能制造 - 装备制造业
转让类型:
技术转让
专利类型:
发明专利
技术成熟度:
可以量产
供应描述
本发明公开了一种锆钛酸钡钙无铅梯度厚膜的制备方法,该锆钛酸钡钙的化学通式为:(1-x)Ba(Ti
0.8
Zr
0.2
)O
3
-x(Ba
0.7
Ca
0.3
)TiO
3
。应用溶胶凝胶法制备不同成分的锆钛酸钡钙溶胶,依次在Pt/Ti/SiO
2
衬底上通过旋涂法涂覆,制备BZT-xBCT梯度厚膜,经过热处理后得到无铅锆钛酸钡钙梯度厚膜。该方法简单可靠,工艺重复性好,可操作性强。本发明制备的锆钛酸钡钙无铅梯度厚膜无孔隙、无裂纹、均匀度一致,兼具薄膜与体材料的优点,可与半导体工艺兼容。
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No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia
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