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化学液混合装置及方法
编号:S000021139 刷新日期: 有效日期至:2020-10-09 浏览:2447 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:合作研发
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明公开了一种化学液混合装置及方法,所述化学液混合装置包括:化学液返回管、化学液回收管、补充液输出管第一混合器和第二混合器,所述化学液返回管、化学液回收管和补充液输出管的输出端连接为一个第一输出端;所述第一混合器与第一输出端连接;所述第二混合器通过液体输送管与第二混合器连接。本发明提供的化学液混合方法及装置,可以有效解决现有半导体工艺设备中存在的补液不均匀问题,结构简单,易于实现。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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