您当前的位置:首页 > 供应列表 > 技术详情
一种制备横向石墨烯PN结的方法
编号:S000021099 刷新日期: 有效日期至:2020-12-22 浏览:2396 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 河北 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:科技服务
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明公开了一种制备横向石墨烯PN结的方法,属于半导体器件及薄膜晶体生长领域。该发明首先在SiC衬底上制备n型掺杂的石墨烯,然后对石墨烯进行选择处理,包括掩膜或图形化处理或预沉积适量的p型掺杂元素,最后在氢气气氛或真空下进行退火,控制退火时间与温度,得到横向石墨烯PN结。该方法是通过对SiC衬底与石墨烯的界面控制,实现石墨烯掺杂类型、掺杂浓度的控制;与化学掺杂或静电调制等手段实现石墨烯PN结相比,该方法避免了化学掺杂带来的污染和晶格破坏,同时石墨烯PN结尺寸可控,且制备工艺简单。该方法为研究石墨烯PN结的新奇特性和实现各种石墨烯功能器件奠定了基础。
分享到:
联系方式
在线QQ: 点击这里
机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
China-Arab States Technology Transfer Center
相似供应