本发明涉及显示技术领域，特别是涉及一种显示装置、阵列基板及其制作方法。该阵列基板包括基板、位于基板上的栅电极、栅极绝缘层、有源层、刻蚀阻挡层、源漏电极层、钝化层和像素电极层；所述有源层为氧化物半导体，所述栅极绝缘层和有源层之间具有金属氧化物绝缘层，所述栅极绝缘层贴近所述栅极，所述金属氧化物绝缘层贴近有源层。本发明公开的阵列基板采用栅极绝缘层结合金属氧化物绝缘层可以有效地阻止Cu离子的扩散和H离子的扩散对氧化物半导体的影响，最大程度地提高整个TFT器件的稳定性，提高最终产品的良率；同时采用五次光刻工艺，与现有技术相比减少一次光刻工艺，简化工艺，可以提升生产效率，节省加工成本。