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一种阵列基板及其制备方法、显示装置
编号:S000021017 刷新日期: 有效日期至:2020-11-01 浏览:2384 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:技术转让
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明实施例提供了一种阵列基板及其制备方法、显示装置,涉及显示技术领域,可减少构图工艺次数,节约成本。该方法包括:在衬底基板上通过一次构图工艺形成包括像素电极的图案层、栅电极、栅线的图案层;在形成有包括栅电极、栅线的图案层的基板上,最多通过两次构图工艺形成栅绝缘层、至少包括金属氧化物半导体有源层的图案层、以及至少包括刻蚀阻挡层的图案层;其中,在像素电极上方形成露出像素电极的第一过孔;在形成有刻蚀阻挡层的基板上,通过一次构图工艺形成包括源电极、漏电极和数据线的图案层;其中,源电极和漏电极均与金属氧化物半导体有源层接触,漏电极与像素电极通过第一过孔电连接。用于制备阵列基板、显示装置等。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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