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> 技术详情
一种阵列基板及其制备方法、显示装置
编号:S000021017
刷新日期:
有效日期至:
2020-11-01
浏览:
2158
次
对接邀请:
0
次
意向价格:
面议
所在区域:
中国 -
技术领域:
智能制造 - 装备制造业
转让类型:
技术转让
专利类型:
发明专利
技术成熟度:
可以量产
供应描述
本发明实施例提供了一种阵列基板及其制备方法、显示装置,涉及显示技术领域,可减少构图工艺次数,节约成本。该方法包括:在衬底基板上通过一次构图工艺形成包括像素电极的图案层、栅电极、栅线的图案层;在形成有包括栅电极、栅线的图案层的基板上,最多通过两次构图工艺形成栅绝缘层、至少包括金属氧化物半导体有源层的图案层、以及至少包括刻蚀阻挡层的图案层;其中,在像素电极上方形成露出像素电极的第一过孔;在形成有刻蚀阻挡层的基板上,通过一次构图工艺形成包括源电极、漏电极和数据线的图案层;其中,源电极和漏电极均与金属氧化物半导体有源层接触,漏电极与像素电极通过第一过孔电连接。用于制备阵列基板、显示装置等。
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No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia
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认证方式:
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