本发明涉及一种半导体热处理设备炉丝引线安装固定装置，包括引线固定块；所述引线固定块上设有通孔，用于通过炉丝引线；所述通孔周围设有凸台，所述凸台位于所述引线固定块的一侧；所述引线固定块的材质为绝缘材料。本发明能够有效消除热处理设备中由炉丝引线的安装误差带来的安全隐患及其他不利影响，并且本发明的炉丝引线的安装固定装置结构简单，便于安装调试。