本发明公开了一种夹持平面盘状物的装置，涉及半导体技术领域，所述装置包括：圆柱形的旋转主体、两组夹持元件、圆筒形的电磁铁保持架、以及若干电磁铁，所述两组夹持元件通过基座安装于所述旋转主体的侧壁上，所述两组夹持元件通过旋转轴与所述基座连接，在所述夹持元件上设有磁性单元，每组夹持元件中各个夹持元件的磁性单元沿径向的极性相同，所述两组夹持元件之间的磁性单元沿径向的极性相反，在所述基座上与所述夹持元件下部相对处设有张力单元，所述夹持元件能绕旋转轴旋转。本发明通过设置两组夹持元件，在晶片清洗的过程中通过轮换夹持来实现晶片上表面的完全清洗，有效提高了晶片的整体质量。