本发明公开了一种六氟乙烷的纯化方法，将六氟乙烷原料在-70℃~-35℃，0.1~1MPa条件进行精馏；将经过精馏的所述六氟乙烷原料在-100℃~-70℃温度条件下进行低温吸附；将经过低温吸附的所述六氟乙烷原料在0.5~1.5MPa的压力条件下进行加压吸附，获得六氟乙烷产品；所述六氟乙烷产品的CO₂体积浓度≤0.5ppm，H₂O体积浓度≤1ppm。采用本发明，解决了六氟乙烷中CO₂和H₂O脱除深度不够和引入无水HCl造成安全隐患的问题，降低能耗，增强吸附剂的吸附效果，使六氟乙烷产品达到纯度在99.9995%以上，满足半导体与微电子工业中对于电子特气的要求。