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> 技术详情
采用电磁加热的CVD设备
编号:S000020877
刷新日期:
有效日期至:
2020-10-14
浏览:
3043
次
对接邀请:
0
次
意向价格:
面议
所在区域:
中国 - 广东
技术领域:
智能制造 - 装备制造业
转让类型:
技术转让
专利类型:
发明专利
技术成熟度:
可以量产
供应描述
本发明涉及半导体生产设备的设计领域,尤其涉及采用电磁加热的CVD设备。本发明提供采用电磁加热的CVD设备,通过设置与传输带配合的滚筒组,达到壳体与传输带之间动态的密封效果;通过设置供惰性气体进入的进气口和离开的排气口达到避免放置于所述传输带上的待镀膜材料与空气发生化学反应;通过采用移动的电磁混合装置,使得整个电磁混合装置的设计得以实现微型化。本发明具有占用空间小,成本低廉的特点。
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No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia
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认证方式:
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