一种高度可调的倾角式超声振动加工装置，涉及一种光电产业与半导体产业硬脆性材料加工装置。提供一种固定磨粒超声椭圆振动的角度与高度可调，可提高加工效率的一种高度可调的倾角式超声振动加工装置。氧化铈固结磨料砂轮与应变片式压力传感器粘贴在超声振子的底部，超声振子与弹簧座固定，弹簧座上装有2个弹簧，弹簧座与微动平台固定，微动平台固定在转轴的凹槽上，转轴与主轴相连接，主轴通过联轴器与旋转电机连接，旋转电机与旋转电机转接板和电机支撑板固定在箱体上，倾角旋转臂将倾角旋转电机与箱体连接，倾角旋转电机与倾角旋转电机锁板固定。