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晶体生长加热系统
编号:S000020832 刷新日期: 有效日期至:2020-12-09 浏览:3509 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 广东 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:技术转让
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
一种晶体生长加热系统,用于对一坩埚内的半导体材料加热,其包含一上加热装置、一温度感测器、一第一控制器、一侧加热装置及一第二控制器。温度感测器用以感测上加热装置的温度并产生一感测信号。第一控制器存储有一默认温度值,并根据感测信号调整上加热装置的温度趋近默认温度值。第二控制器接收一外部控制信号,并根据外部控制信号调整侧加热装置的温度。借由第二控制器根据外部控制信号调整侧加热装置的温度,并借由第一控制器根据感测信号调整上加热装置的温度,能有效提升晶体生长的良率及效率。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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