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基于微机械硅基固支梁的频率检测器及检测方法
编号:S000020756 刷新日期: 有效日期至:2020-10-24 浏览:2698 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 江苏 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:合作研发
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明公开了一种基于微机械硅基固支梁的频率检测器及检测方法,该频率检测器包括功率分配器(P)、90度移相器(Y)、低通滤波器(L)和硅基金属-氧化物-半导体场效应管;功率分配器,用于接收待测微波信号,并将该待测微波信号分成幅度、相位相同的两个支路信号。检测方法包括如下步骤:当在一下拉电极(81)和第二下拉电极(82)加载直流偏置时,固支梁(7)被下拉且与栅极(5)接触时,两路微波信号同时加载到栅极(5)上,硅基金属-氧化物-半导体场效应管处在频率检测状态,源极(2)和漏极(3)之间的饱和电流输出包含了待测信号频率信息的电流分量,通过检测饱和电流的大小最终实现频率检测。本发明结构简单,易于测量。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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