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基于微机械砷化镓基固支梁的频率检测器及检测方法
编号:S000020746 刷新日期: 有效日期至:2020-10-05 浏览:2434 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 江苏 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:技术转让
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明公开了一种基于微机械砷化镓基固支梁的频率检测器及检测方法,该频率检测器包括功率分配器(PD)、90度移相器(PS)、低通滤波器(F)和砷化镓金属半导体场效应管,功率分配器,用于接收待侧微波信号,并将该待侧微波信号分成幅度、相位相同的两个支路信号,即第一路微波信号和第二路微波信号,并分别输出给砷化镓金属半导体场效应管和90度移相器。该方法包括如下步骤,当在第一下拉电极(81)和第二下拉电极(82)加载直流偏置时,固支梁(6)被下拉且与栅极(4)接触时,两路微波信号同时加载到栅极(4)上;通过一个电容和滤波器之后,检测源极(2)漏极(3)饱和电流的大小最终实现频率的测量。本发明结构简单。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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