本发明公开了一种高丰度硼-11酸的制备方法，属于硼的化合物领域，包括原料高丰度三氟化硼-11提纯、三氟化硼-11水解、过滤去除沉淀、离子交换提纯、结晶、过滤去除母液、干燥等步骤。本发明制备的高丰度硼-11酸纯度高，可达到99.9%以上，可用作浓缩硼-11同位素的相关化合物的制备原料。以高丰度硼-11酸作为原料制备的系列硼-11酸酯可用作半导体制程硼-11同位素掺杂源，制造的半导体器件具有优良的抗干扰和抗辐射性能。