封闭式销用陶瓷支板，主要解决现有的产品结构容易变形、各处支点高低不一的技术问题。本发明采用等边三角闭合式，其结构是针对在设备上共设有三处位于等圆周上销的结构形式。该结构形式利用三点决定一个圆，来实现对晶圆的支撑。它包括支板使用侧和支板固定侧。采用陶瓷材料，充分利用了陶瓷强度高，高温变形小等优势。销用陶瓷支板是通过销孔来实现与升降机构的定位，通过安装通孔来实现与升降机构的紧固连接。具有结构相对简单，强度高，性能好的特点。主要应用于半导体镀膜设备中，属于半导体薄膜沉积应用及制备技术领域。