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一种微凸点制造过程中防止微凸点侧向钻蚀的方法
编号:S000020688 刷新日期: 有效日期至:2020-12-20 浏览:2376 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 江苏 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:科技服务
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明公开了一种微凸点的形成方法,包括:s1、在半导体基底上形成焊盘;s2、在焊盘及半导体基底表面形成介质层,所述的介质层上开设有窗口,所述的窗口与焊盘对应;s3、在介质层及焊盘的表面形成种子层;s4、在所述种子层表面电镀形成微凸点;s5、在微凸点周围一定距离内的种子层上形成阻挡层;s6、刻蚀未被阻挡层覆盖的种子层;s7、回流焊料。本发明提出通过在微凸点周围的种子层上覆盖一层刻蚀阻挡层,这样在进行种子层刻蚀时,可以保护其下面的种子层免受刻蚀,从而防止出现侧向钻蚀的现象。提高微凸点加工制造的可靠性和良品率。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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