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具有聚磁层的线性薄膜磁阻传感器
编号:S000020667 刷新日期: 有效日期至:2020-11-26 浏览:2407 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 浙江 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:合作研发
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明涉及一种磁阻传感器,尤其是一种具有聚磁层的线性薄膜磁阻传感器,属于半导体的技术领域。按照本发明提供的技术方案,所述具有聚磁层的线性薄膜磁阻传感器,包括衬底;磁阻传感器本体,位于衬底上,具有方向上相互垂直的第一磁矩与第二磁矩;聚磁层,位于衬底上方,与磁阻传感器本体绝缘隔离,并将待测量外磁场放大后作用于磁阻传感器本体上。本发明磁阻传感器本体上设置聚磁层,在聚磁层上方或下方设置电流导线,聚磁层能够将电流导线产生的感应磁场及待测外磁场进行放大,从而提高薄膜磁阻传感器的灵敏度及测量范围;精度和线性度高,线性范围可调,工艺简单,响应频率高,成本低,抗干扰性强和温度特性好。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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