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一种基于自对准技术的石墨烯晶体管制造方法
编号:S000020655 刷新日期: 有效日期至:2020-10-07 浏览:2479 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 河北 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:科技服务
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明公开了一种基于自对准技术的石墨烯晶体管制造方法,涉及半导体器件的制造方法技术领域。在衬底上形成石墨烯材料,在石墨烯材料上形成一层金属薄膜,利用平版印刷术形成所需要的光刻胶图形,去除未被光刻胶覆盖的地方的金属,去除未被光刻胶覆盖的地方的石墨烯,形成设计的石墨烯晶体管有源区。形成设计的源、栅和漏的金属电极,源和漏的金属电极与有源区的金属相连,并在源漏之间利用平版印刷术形成所需要的栅光刻胶图形,腐蚀掉暴漏出来的金属,在暴漏出来的石墨烯表面形成种子层,在种子层上形成栅介质,然后在栅介质上形成栅金属,最终形成石墨烯晶体管。所述方法减小栅源和栅漏之间的间距,从而提高石墨烯晶体管的性能。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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