本发明公开了一种用于分离物体的装置101，该装置101包含有：激光器103，其被配置来发出具有高斯辐照度分布曲线的激光束105；光束成形设备115，其被配置来重新成形从激光器103中发出的激光束105的高斯辐照度分布曲线，尤其是，该光束成形设备115具有多个非球面透镜117、119以重新分配该激光束105的辐照度，以便于减少该激光束105的用于分离物体的有效辐射光谱中的辐照度的变化。和具有不均匀的高斯辐照度分布曲线的传统激光束相比，通过重新分配激光束105的辐照度，这种激光束的辐射能量可以更为有效地被传送到半导体晶圆102进行激光分离。本发明也公开了一种分离物体的方法。