本发明公开了一种发光器件上的叠层电极的制备方法，依次包括如下步骤：（1）在半导体发光单元的表面蒸镀反射层；（2）在反射层表面蒸镀阻挡层；（3）在阻挡层表面溅射形成聚结抑制层；（4）在聚结抑制层上溅射氧化屏蔽层。