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LED外延片非接触式测试装置
编号:S000020468 刷新日期: 有效日期至:2020-11-21 浏览:2013 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:技术转让
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明涉及半导体测试领域,涉及一种半导体材料的激光激发荧光与白光反射的同步测量装置,更具体的说涉及LED外延片非接触式测试装置。本发明装置包括:在支撑板(2)上固定的光谱仪(3)、收光装置(4)、激光器安装架(5)、激光器(6)、分光镜装置(7)、滤光片装置(8)、中央开孔反射镜(9)、聚光装置(10)、白光源(11)、样品(12)安装架、光路安装座(13)。本发明的优点是由于采用了上述技术方案,本发明与现有技术相比,测试效率明显提高,具有良好的经济效益。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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