本发明公开了对氯硅烷精馏提纯工序的废气和废液进行处理的方法，其包括：在氯硅烷精馏提纯工序的精馏塔系统中，将塔顶低沸物杂质含量最高的精馏塔内的高杂质废气排出，并将塔釜高沸物杂质含量最高的精馏塔内的高杂质废液排出；收集未排出高杂质废气的精馏塔内的含氯硅烷废气，并输送至填料式氯硅烷冷凝储存设备；将未排出高杂质废液的精馏塔内的含氯硅烷废液收集至氯硅烷回收罐；将冷凝液输送至该氯硅烷回收罐；将该氯硅烷回收罐中的混合液体泵送至吸附床，获得氯硅烷液体。该方法能够在保障电子级多晶硅生产系统稳定运行的同时，最大限度的回收与利用氯硅烷精馏系统废气废液中的氯硅烷，氯硅烷回收率可达95%以上，且节能降耗、科学环保。