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> 技术详情
晶体管及其沟道长度的形成方法
编号:S000020454
刷新日期:
有效日期至:
2020-10-16
浏览:
2253
次
对接邀请:
0
次
意向价格:
面议
所在区域:
中国 -
技术领域:
智能制造 - 装备制造业
转让类型:
合作研发
专利类型:
发明专利
技术成熟度:
可以量产
供应描述
本发明公开了一种晶体管及其沟道长度的形成方法。其包括:衬底、形成在所述衬底上的耐高压半导体层、利用高压条件形成在所述耐高压半导体层中的非对称漂移区,非对称漂移区之间的距离为有效的沟道长度。非对称漂移区之间的距离为有效的沟道长度,使得比如在源端和漏端均形成漂移区,从而提高了器件的电学稳定性。另外,在形成非对称漂移区时已经定义好了器件的沟道长度,从而省去了额外对源端的外延栅氧部分进行刻蚀的光罩,从而简化了器件的制程,降低了生产成本。
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No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia
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认证方式:
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