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晶体管及其沟道长度的形成方法
编号:S000020454 刷新日期: 有效日期至:2020-10-16 浏览:2411 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:合作研发
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明公开了一种晶体管及其沟道长度的形成方法。其包括:衬底、形成在所述衬底上的耐高压半导体层、利用高压条件形成在所述耐高压半导体层中的非对称漂移区,非对称漂移区之间的距离为有效的沟道长度。非对称漂移区之间的距离为有效的沟道长度,使得比如在源端和漏端均形成漂移区,从而提高了器件的电学稳定性。另外,在形成非对称漂移区时已经定义好了器件的沟道长度,从而省去了额外对源端的外延栅氧部分进行刻蚀的光罩,从而简化了器件的制程,降低了生产成本。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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