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一种有机薄膜晶体管阵列基板制作方法
编号:S000020443 刷新日期: 有效日期至:2020-10-15 浏览:2600 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:合作研发
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明公开了一种有机薄膜晶体管阵列基板制作方法,包括:在基板上依次制备栅线图形、栅绝缘层、像素电极层、源漏金属薄膜、有机半导体层和刻蚀阻挡层,其中,形成栅绝缘层之后,在其上旋涂光刻胶,通过对光刻胶曝光显影并刻蚀掉栅线PAD区域的栅绝缘层之后,保留晶体管沟道区域的光刻胶,再形成像素电极层和源漏金属薄膜,后再剥离掉光刻胶。本发明通过在刻蚀栅绝缘层以露出栅线PAD区域的过程中,通过部分保留光刻胶用以占位作为有机薄膜晶体管的沟道区域,避免了刻蚀源漏金属薄膜的过程中破坏栅绝缘层表面,能保证栅绝缘层表面质量,使形成有源层的有机半导体在栅绝缘层表面上能够很好的排列,保证沟道区的质量。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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