一种不受环境温、湿度影响的静电收集法测量氡的方法及装置，它是通过降低静电收集测量腔内的气压到某个阈值之下，使得在0-45度工作温度范围，外界环境空气相对湿度在0%-100%变化时，静电收集测量腔对带正电的²¹⁸Po粒子收集到探测器表面的收集效率基本不变，使得探测效率不随外界环境的温、湿度变化而变化，该阈值由测量腔几何因子和测量腔内的电场强度分布有关。所述的装置由测量腔、半导体探测器、高压模块、采样泵、真空表及调节阀组成。调节阀安装在腔体的进气管道上，真空表和采样泵依次安装在测量腔的出气管道上，半导体探测器安装在测量腔内的上部，半导体探测器通过导线与高压模块的接口端连接，高压模块的另一接口端通过导线与测量腔外壳连接。