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> 技术详情
开放式销用支板
编号:S000020387
刷新日期:
有效日期至:
2020-10-28
浏览:
2303
次
对接邀请:
0
次
意向价格:
面议
所在区域:
中国 - 辽宁
技术领域:
智能制造 - 装备制造业
转让类型:
科技服务
专利类型:
发明专利
技术成熟度:
可以量产
供应描述
开放式销用支板,主要解决现有的销用支板不能适用两种或两种以上尺寸晶圆的技术问题。该支板主体呈三角形且一个边为开放式结构。上述支板主体的边缘处加工有基准线,支板主体的平面处加工有一般表面,与一般表面相邻处分别制有精加工面。上述支板主体的三个角上分别制有顶销位置。支板主体的顶角上制有通孔,与升降机构运动部件连接,支板主体的顶角上还制有销孔,销孔用于确保连接精度。上述支板主体采用陶瓷材料,充分利用了陶瓷强度高,高温变形小等优势。本发明可将多种规格的晶圆顶升位置集成在一个支板上,其特点还在于同一个支架可用于多种晶圆尺寸的顶升销,节省了设备转型的维护成本,可广泛应用于半导体镀膜技术领域。
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No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia
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认证方式:
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