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一种用于电子器件封装的硅基转接板结构
编号:S000020334 刷新日期: 有效日期至:2020-12-20 浏览:2181 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 江苏 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:技术转让
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明涉及一种用于电子器件封装的硅基转接板结构,属于半导体封装技术领域。其在基体(110)内设置通孔(111)和与通孔(111)连接的基体底部开口(112),通孔(111)呈倒梯形,基体底部开口(112)不小于通孔(111)底部的尺寸,通孔(111)的内壁设置绝缘层Ⅰ(210)和金属层Ⅰ(310),基体(110)的上方设置若干层金属层III(330)和保护层Ⅰ(510);基体底部开口(112)内设置绝缘层II(220)和金属层II(320),金属层II(320)与金属层Ⅰ(310)实现电气连通,所述金属层II(320)的表面设置保护层II(520)。本发明可极大程度的降低工艺难度和工艺成本,具备规模化生产能力,并且可实现转接板的高密度技术,有利于应用该硅基转接板结构的电子器件的推广。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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