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一种非制冷红外探测器及其制备方法
编号:S000020263 刷新日期: 有效日期至:2020-10-18 浏览:2407 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 山东 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:合作研发
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明提供了一种非制冷红外探测器制备方法,包括:提供一包含读出电路的半导体衬底,在半导体衬底上依次沉积金属反射层、绝缘介质层、牺牲层、支撑层、金属电极层、氮化硅介质层;刻蚀掉金属电极层上方的部分氮化硅保护层,露出金属电极,形成接触孔;在形成接触孔的半导体衬底上沉积热敏薄膜,对热敏薄膜进行图形化处理,然后沉积氮化硅钝化层,进行钝化层图形化和结构释放。本发明还提出了一种非制冷红外探测器结构,即在金属电极之上覆盖热敏薄膜,使非制冷红外探测器对红外的反射率大大降低,提高了探测器的红外吸收效率。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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