本发明实施例提供阵列基板及其制造方法、显示装置，涉及显示技术领域，能够在避免形成源漏金属电极时对金属氧化物半导体层造成破坏，同时，使用像素电极层与金属氧化物半导体层直接接触，不需要漏极金属，降低了金属氧化物半导体层与像素电极层之间的电阻，大大提升了显示装置的显示特性。本发明的阵列基板包括：基板；设置于基板上的包括栅极的栅极层；设置于栅极层上的栅绝缘层；设置于栅绝缘层上的包括源极的源极层；以及设置于源极层和栅绝缘层上的包括有源层的金属氧化物半导体层，其中，源极与有源层直接接触；与有源层直接接触的像素电极层，其中，栅极对应于像素电极层与有源层接触的接触部与源极之间的位置。