本发明提供一种薄膜晶体管阵列基板的制作方法，包括：提供一衬底基板；在衬底基板上形成金属薄膜，由构图工艺形成包括栅线的图形；在形成栅线图形的衬底基板上形成栅绝缘层、半导体薄膜、掺杂半导体薄膜和数据金属层薄膜，由构图工艺形成包括图案化的栅绝缘层、位于栅绝缘层上的有源层、掺杂半导体层的图形，以及位于所述掺杂半导体层上的源电极、漏电极和数据线的图形；在形成源电极电极、漏电极和数据线的图形的衬底基板上形成钝化层；在形成钝化层的衬底基板上形成透明导电薄膜，由构图工艺形成包括像素电极的图形，像素电极通过贯穿钝化层的第一过孔与漏电极连接。本发明可以减少一次掩模板工艺，降低阵列基板的制作成本。