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> 技术详情
一种具有P+单一多晶架构的非挥发性记忆体及其制备方法
编号:S000020091
刷新日期:
有效日期至:
2020-12-19
浏览:
3253
次
对接邀请:
0
次
意向价格:
面议
所在区域:
中国 - 江苏
技术领域:
智能制造 - 装备制造业
转让类型:
技术转让
专利类型:
发明专利
技术成熟度:
可以量产
供应描述
本发明涉及一种具有P+单一多晶架构的非挥发性记忆体及其制备方法,其包括半导体基板及记忆体细胞,记忆体细胞包括PMOS访问晶体管、控制电容及编程电容;半导体基板的表面上淀积有栅介质层,栅介质层上设有浮栅电极,浮栅电极覆盖并贯穿PMOS访问晶体管、控制电容及编程电容上方对应的栅介质层,浮栅电极的两侧淀积有侧面保护层;PMOS访问晶体管包括第一N型区域及P型源极区与P型漏极区,控制电容包括第二P型区域及第一P型掺杂区域与第二P型掺杂区域;编程电容包括第三P型区域及第五P型掺杂区域与第六P型掺杂区域。本发明结构紧凑,能与CMOS工艺兼容,降低芯片成本,提高存储的安全可靠性。
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No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia
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认证方式:
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