用户登录
用户注册
English
技术供应
>技术供应
>技术需求
>协作成员
>专家委员
>新闻资讯
首页
中心简介
新闻资讯
工作动态
行业资讯
特别关注
热点视频
技术供应
技术需求
协作成员
专家智库
专家咨询委员会
数字展会
成功案例
配套服务
下载中心
《中阿科技论坛》
您当前的位置:
首页
>
供应列表
> 技术详情
接触孔的制作方法
编号:S000019972
刷新日期:
有效日期至:
2020-11-23
浏览:
2793
次
对接邀请:
0
次
意向价格:
面议
所在区域:
中国 -
技术领域:
智能制造 - 装备制造业
转让类型:
科技服务
专利类型:
发明专利
技术成熟度:
可以量产
供应描述
本发明提供一种接触孔的制作方法,包括:提供半导体衬底,所述半导体衬底上依次形成有第一介质层、第二介质层、第三介质层;进行刻蚀工艺,在所述第一介质层、第二介质层和第三介质层内形成第一接触孔,所述第一接触孔露出半导体衬底;去除所述第三介质层;在所述第二介质层上形成第四介质层,所述第四介质层填充所述第一接触孔;形成贯穿所述第四介质层、第二介质层和第一介质层的第二接触孔,所述第二接触孔露出半导体衬底;去除所述第四介质层。本发明提高了接触孔的制作工艺的稳定性。
分享到:
申请对接
收藏此供应
推荐给好友
穿越到手机
联系方式
在线QQ:
机构地址:
No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia
查看地图
China-Arab States Technology Transfer Center
认证方式:
相似供应
环氧树脂废水蒸发前预处理方法
所在区域:中国
转让类型:
科技服务
家用电功能酸性离子水发生装置及控制方法
所在区域:中国
转让类型:
技术转让
一种利用粘土或改性粘土粉末提高近海藻华去除率的装置及方法
所在区域:中国
转让类型:
合作研发
一种微蚀刻废液和硫酸铜废液的处理方法
所在区域:中国
转让类型:
科技服务