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一种CMOS电路结构、其制备方法及显示装置
编号:S000019803 刷新日期: 有效日期至:2020-10-18 浏览:2414 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:科技服务
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明公开了一种CMOS电路结构、其制备方法及显示装置,在CMOS电路结构中PMOS区域为LTPS TFT结构,即使用P型掺杂多晶硅材料制备PMOS半导体层,NMOS区域为Oxide TFT结构,即使用氧化物材料制备NMOS半导体层,在NMOS区域使用氧化物材料代替现有的多晶硅材料制备NMOS半导体层,能够省去采用TLPS工艺时对NMOS区域的三次掺杂工艺,可以简化CMOS电路结构的制作流程,降低生产成本。并且,由于采用氧化物材料制作NMOS区域的NMOS半导体层,仅需要对PMOS区域的PMOS半导体层进行结晶化,也能延长激光管的使用寿命,降低生产成本。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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