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鳍式场效应管基体的形成方法及鳍式场效应管
编号:S000019771 刷新日期: 有效日期至:2020-12-15 浏览:2412 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:科技服务
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本申请公开了一种鳍式场效应管FinFET基体的形成方法,该方法包括:提供一半导体衬底,对半导体衬底进行图案化刻蚀,形成具有翅片结构且截面为矩形的硅基体;所述翅片结构,包括其中间延伸有沟道区域的源极区域和漏极区域;对所述硅基体进行锗离子注入,形成硅化锗基体;氧化硅化锗基体的外部表面至预定厚度,形成氧化层;湿法去除部分氧化层至显露出基体底部;横向刻蚀基体底部区域至预定宽度后去除剩余部分氧化层,形成具有“Ω”形截面的基体。本申请还公开了一种鳍式场效应管。采用本发明能够提高器件驱动电流。
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