本发明公开了一种薄膜晶体管及其制作方法、阵列基板和显示装置，用以提高薄膜晶体管TFT的性能，提高图像的画质。本发明提供的薄膜晶体管包括：基板、形成在所述基板上的栅极、源极、漏极和半导体层；位于所述栅极和半导体层之间或者位于所述栅极和源极、漏极之间的栅极绝缘层，和位于半导体层与源极、漏极之间具有源极接触孔和漏极接触孔的刻蚀阻挡层；以及位于所述源极和半导体层之间的源极缓冲层，位于所述漏极和半导体层之间的漏极缓冲层；其中，所述源极和漏极为金属铜电极，所述缓冲层为铜合金。