本发明实施例提供一种阵列基板和其制备方法、及液晶显示装置，阵列基板包括：栅绝缘层；金属氧化物半导体形成的阻挡层图案和有源半导体层图案位于栅绝缘层之上；半导体保护层覆盖所述阻挡层图案、有源半导体层图案和栅绝缘层，且在阻挡层图案和有源半导体层图案上的相应位置处形成有过孔；在各个过孔处设置有金属Cu制作而成的数据线、源电极和漏电极。采用金属Cu制作数据线、源电极和漏电极，采用金属氧化物半导体作为金属Cu的阻挡层，在形成薄膜晶体管的过程中防止了金属Cu向栅绝缘层等层中进行扩散。