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带有绝缘埋层的图像传感器及其制备方法
编号:S000019607 刷新日期: 有效日期至:2020-12-10 浏览:2246 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:科技服务
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明提供一种带有绝缘埋层的图像传感器及其制备方法,该制备方法提供第一半导体衬底和第二半导体衬底,在第二半导体衬底上表面定义第I区域和第II区域,并在第I区域开窗口,对准键合第一半导体衬底的上表面及第二半导体衬底的上表面,而后减薄第二半导体衬底形成薄膜层和厚膜层,分别在薄膜层和厚膜层完成像素读出电路和光学传感器件的制备,并形成相邻器件间的隔离结构以完成带有绝缘埋层的图像传感器的制备,使其具有良好的半导体质量和表面质量、较高的光吸收效率、及高速、低功耗、抗闩锁的优良性能。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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