本发明揭示了一种基于场效应晶体管传感器的离子液体痕量H₂O的检测方法。该传感器利用场效应晶体管的结构，其中有源层为与待检测离子液体不互溶的N型有机半导体材料。将待检测的离子液体滴到该传感器的有源层表面，利用N型半导体材料对水敏感的特性，使得场效应晶体管的电学参数发生变化，从而达到痕量H₂O的检测的目的。