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> 技术详情
制造混合高k/金属栅堆叠件的方法
编号:S000019582
刷新日期:
有效日期至:
2020-11-03
浏览:
2149
次
对接邀请:
0
次
意向价格:
面议
所在区域:
中国 -
技术领域:
智能制造 - 装备制造业
转让类型:
科技服务
专利类型:
发明专利
技术成熟度:
可以量产
供应描述
公开了制造具有混合HK/金属栅极堆叠件的半导体器件的方法。该方法包括提供半导体衬底,该半导体衬底具有位于PFET和NFET区域之间的多个隔离部件,和在半导体衬底上形成栅极堆叠件。在PFET区域中,栅极堆叠件形成为HK/金属栅极。在NFET区域中,栅极堆叠件形成为多晶硅栅极。通过利用另一个多晶硅栅极将高电阻器形成在半导体衬底上。
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