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> 技术详情
一种双内腔接触式n侧出光框架支撑结构面发射半导体激光器
编号:S000019406
刷新日期:
有效日期至:
2020-12-14
浏览:
2683
次
对接邀请:
0
次
意向价格:
面议
所在区域:
中国 - 吉林
技术领域:
智能制造 - 装备制造业
转让类型:
科技服务
专利类型:
发明专利
技术成熟度:
可以量产
供应描述
一种双内腔接触式n侧出光框架支撑结构面发射半导体激光器及其制作方法,属于半导体激光器制造技术领域。相关的现有技术采用p型与n型电极均为内腔接触式的,但其电极只在p侧引入,以减少双侧DBR电阻。该技术存在的主要问题是,p型与n型电极开在同一侧,其电极不可能制备成封闭环形,由于是半环型,电流的分配不对称,注入载流子诱发光子形成的光场分布不均匀。本发明提出的激光器结构, p型与n型电极在器件两侧,形成双内腔接触式结构,使注入电流绕过p型DBR和n型DBR直接进入有源区;同时n侧采用框架支撑结构及其制作方法,解决了形成n型电极窗口的刻蚀过程中,器件结构连接强度不足所造成的有源区崩落问题。
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机构地址:
No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia
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认证方式:
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