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用于一次可编程存储器的具有电熔丝结构的半导体装置
编号:S000019340 刷新日期: 有效日期至:2020-11-23 浏览:2320 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:科技服务
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明提供了一种用于一次可编程存储器的具有电熔丝结构的半导体装置以及制造电熔丝结构的方法。该半导体装置包括:具有浅沟槽隔离(STI)结构的基底基板;第一金属层,形成在所述STI结构上,具有限定阳极、阴极、和连接在所述阴极与阳极之间的熔丝颈的形状;未掺杂的多晶硅(多晶)区域,形成在所述第一金属层的所述熔丝颈上;以及第二金属层,具有形成在所述第一金属层上且位于所述多晶区域的相对侧上的第一部分和第二部分,所述第二金属层的所述第一部分形成在所述阳极上,而所述第二金属层的所述第二部分形成在所述阴极上。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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