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> 技术详情
一种直接贴焊的半导体发光共晶晶片的制造方法
编号:S000019234
刷新日期:
有效日期至:
2020-12-05
浏览:
2389
次
对接邀请:
0
次
意向价格:
面议
所在区域:
中国 -
技术领域:
智能制造 - 装备制造业
转让类型:
科技服务
专利类型:
发明专利
技术成熟度:
可以量产
供应描述
本发明涉及一种半导体发光DA(Direct Attach直接贴焊)共晶晶片的制造方法,包括:对透明体衬底的正面和背面都进行图形化处理;在图像化处理后的透明体衬底上进行外延生长(EPI:Epitaxy)得到外延片;对得到的外延片进行前段工序,在前段工序中对外延片进行金属光刻,用光刻胶在外延片上形成电极图形,以及对外延片进行金属蒸镀,沉积Cr,Ni,Au,Ti,Sn后最外层为AuSn合金层,得到具有电极的外延片;然后对外延片进行倒模处理;对倒膜处理后的外延片进行激光切割得到半导体发光共晶晶片。本发明省去了很多传统工序,在产品的稳定性,信赖性,可靠性等方面和传统MTBF指标方面都会提高10倍以上,是半导体发光产品家用化和高品质规模化生产的最基本的基础保证。
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