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双肖特基结氧化锌半导体薄膜晶体管及制作方法
编号:S000018884 刷新日期: 有效日期至:2020-12-02 浏览:2063 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 黑龙江 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:合作研发
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
双肖特基结氧化锌半导体薄膜晶体管及制作方法。目前国内外研究的ZnO薄膜晶体管主要采用顶栅与底栅场效应结构。一种双肖特基结氧化锌半导体薄膜晶体管,其组成包括:底衬板(1),所述的底衬板上面连接源极Ag薄膜层(2),所述的源极Ag薄膜层上面连接导电沟道ZnO薄膜层(3),所述的导电沟道ZnO薄膜层上面连接栅极半绝缘Al薄膜层(4),所述的栅极半绝缘Al薄膜层上面连接所述的导电沟道ZnO薄膜层,所述的导电沟道ZnO薄膜上层上面连接所述的漏极Ag薄膜层(5)。本发明用于有源矩阵有机发光显示器的驱动单元、高密度集成电路以及其他电子电路等领域中。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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