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感光成像装置、半导体器件的制作方法
编号:S000018839 刷新日期: 有效日期至:2020-11-05 浏览:2242 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:技术转让
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明提供了一种半导体器件的制作方法及感光成像装置,所述半导体器件的制作方法,包括:提供形成在第一衬底上的第一器件层与形成在第二衬底上的连续的第二器件层,所述第一器件层的表面形成有导电的顶层焊垫层,所述连续的第二器件层的表面形成有连续的导电粘附层;将所述第一器件层键合到所述连续的第二器件层,其中所述第一器件层表面的顶层焊垫层直接焊接在所述第二器件层表面的导电粘附层;去除所述第二衬底;选择性刻蚀所述连续的第二器件层和连续的导电粘附层,以形成沟槽阵列;用绝缘材质填充所述沟槽阵列,以形成多个彼此绝缘隔离的第二器件。利用上述方法形成的半导体器件,能够明显提高第一器件层与第二器件层的对准精度。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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