本发明公开了一种半导体测试探针清洗装置及方法，该装置包括第一液体容器，所述第一液体容器具有第一容器开口和第一容器底部，从所述第一容器底部至第一容器开口所述第一液体容器的横截面逐渐收窄。本发明中折弯型的半导体测试探针更容易伸入第一液体容器中完成清洗；另外，采用的第二液体容器可以收集从第一液体容器中外溢的液体，防止其对其他机构造成损害。