本发明提供半导体装置及其制造方法。该装置可包括提供在半导体基板中的柱、提供在半导体基板中且与柱间隔开的场板电极、提供在半导体基板中且设置在场板电极上的栅极图案，场板电极连接到栅极图案的下端部，场板电介质设置在半导体基板与场板电极之间，并且栅极电介质图案插设在半导体基板与栅极图案的侧壁之间，栅极电介质图案的厚度小于场板电介质的厚度。