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半导体晶圆固定方法及半导体晶圆固定装置
编号:S000018247 刷新日期: 有效日期至:2021-01-03 浏览:2394 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:合作研发
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明提供半导体晶圆固定方法及半导体晶圆固定装置。该半导体晶圆固定方法自晶圆收纳用的容器抬起工件将其取出,利用第1识别传感器检测其正面侧,判别工件是晶圆或者隔离物中的哪一个。在工件是晶圆的情况下,也判别其正面是否存在保护带。在正面不存在保护带的情况下,进而利用配备在容器的外周附近的第2识别传感器检测晶圆背面,判别是否存在保护带。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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