本发明涉及一种酶芯片，公开了一种半导体芯片、半导体酶芯片及利用该半导体酶芯片筛选目标酶的方法。半导体酶芯片，包括半导体芯片和氧化膜层，半导体芯片包括至少一个传感器矩阵，传感器由电路连接，感应空洞中离子浓度变化。本发明利用半导体芯片来筛选酶，与传统生物芯片相比，可以加大井密度至少10倍以上，而且采用非光学方法的电路方法读出反应，可以进一步提高筛选速度。