一种带氧化钇涂层的高耐腐蚀性气体分配器的生产工艺，加工步骤如下：a.留余量多次精加工来保证零件形位公差；b.通过可调节的膨胀销来定位，以保证小孔位置精度；c.通过随机钻孔来保证1009个气孔均匀性；d.机加工序与表面处理工序的合理安排，减少加工及表面处理难度；e.定制非标刀具来加工特定槽；f.出气面喷砂处理，粗糙度达到Ra5-7；g.零件整体覆盖氧化铝，膜厚0.05-0.07mm；h.出气面喷涂氧化钇，粗糙度达到Ra6-8。本发明解决了铝合金材质的气体分配器因阳极氧化处理孔位置度,均匀性难以保证的加工等难题。确保了加工后的产品具有很高的化学稳定性和较高的硬度，防腐、耐磨、绝缘等性能。